光刻胶是什么 光刻胶是什么专业
1. 光刻胶1948年光刻胶问世
光刻胶,又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体,是微电子技术中微细图形加工的关键材料。1948年在***专利上首次出现了光固化油墨配方和实施技术的专利,标志着光刻胶的诞生。
1954年光刻胶新突破
1954年,柯达公司的明斯克等人成功研究出光致感光剂增感的聚乙烯醇肉桂酸酯,成为首个具有光固化性能的光刻胶,为光刻技术的发展开辟了新的方向。
2. 光刻胶组成光刻胶的成分
光刻胶由光引发剂(光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、溶剂与助剂构成。光刻胶的英文名为resist,其作用是保护蚀刻层保护衬底表面。
3. 光刻胶应用半导体材料中的光刻胶
半导体材料包括半导体单晶材料和多晶材料,以及外延片、光刻胶等。半导体设备主要包括半导体制造设备,其中光刻胶被广泛用于半导体工艺中。
4. 光刻胶工艺光刻胶的制作过程
光刻胶是一种具有光敏化学作用的高分子聚合物材料,可以通过紫外曝光或电子束曝光的方式制作微细图案。光刻胶的分辨率受到光源、光刻系统、光刻胶和工艺等多方面因素的影响。
5. 光刻技术应用光刻技术的应用领域
光刻是一种精密的微加工技术,常规光刻技术利用紫外光和光刻胶实现图形的转换、转移和处理,将图像信息转移到晶片或介质层上。这项技术在半导体工艺、电子器件制造等领域具有广泛的应用。
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